（中央社記者張建中新竹2025年4月30日電）台積電攜手工研院推動極紫外光（EUV）製程餘氫資源化計畫，提升製程中殘餘氫氣的使用效益，創新研發30瓩混氫燃料電池發電系統，今年進一步以150瓩進行混氫燃
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台積電善用EUV製程餘氫 攜手工研院研發混氫發電
（中央社記者張建中新竹2025年4月30日電）台積電攜手工研院推動極紫外光（EUV）製程餘氫資源化計畫，提升製程中殘餘氫氣的使用效益，創新研發30瓩混氫燃料電池發電系統，今年進一步以150瓩進行混氫燃