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分析｜ASML攜手台積電3巨頭研發12吋High NA光罩 專家揭背後「2大關鍵」 – 進盛工程行
9 月 12

分析｜ASML攜手台積電3巨頭研發12吋High NA光罩　專家揭背後「2大關鍵」

by stevinPosted in 熱門新聞
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【記者蕭文康／台北報導】ASML（艾司摩爾）8日同時與台積電（2330）、三星及英特爾揭露12吋High NA微影系統導入先進製程量進度，並共同推動轉移升級至12吋光罩，將高數值孔徑極紫外光（High

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